A unilateral in-plane thermal buckle-beam microelectrical mechanical
actuator is formed on a planar substrate of semiconductor material, for
example. The actuator includes first and second anchors secured to the
substrate and a floating shuttle positioned movable parallel to the
substrate. Symmetric first and second sets of elongated thermal half-beams
are secured between the floating shuttle and the respective first and
second anchors. The first and second anchors and the first and second sets
of thermal half-beams are positioned along one side of the floating
shuttle. The half-beams are formed of semiconductor material, such as
polysilicon. A current source directs electrical current through the
thermal half beams via the anchors to impart thermal expansion of the
thermal half-beams and hence linear motion of the floating center beam
generally parallel to the substrate. A floating cold beam connected
between the shuttle and the substrate constrains and amplifies the motion
of the shuttle in a predefined direction.
Un azionatore meccanico microelectrical del inarcamento-fascio termico unilaterale dell'in-aereo è formato su un substrato planare del materiale a semiconduttore, per esempio. L'azionatore include in primo luogo e secondi ancoraggi fissati al substrato e un bene mobile posizionato spola di galleggiante parallelo al substrato. I primi simmetrici ed in secondo luogo insiemi dei metà-fasci termici prolungati sono fissati fra la spola di galleggiante ed i primi e secondi ancoraggi rispettivi. I primi e secondi ancoraggi ed i primi e secondi insiemi dei metà-fasci termici sono posizionati lungo un lato della spola di galleggiante. I metà-fasci sono formati del materiale a semiconduttore, quale polysilicon. Una fonte corrente dirige la corrente elettrica attraverso i fasci mezzi termici via gli ancoraggi per comunicare l'espansione termica dei metà-fasci termici e quindi del movimento lineare del fascio concentr di galleggiante generalmente parallelo al substrato. Un fascio freddo di galleggiante collegato fra la spola ed il substrato costringe ed amplifica il movimento della spola in un senso predefinito.
