Waveguides having air-gap cladding layers and methods of fabricating
waveguides having air-gap cladding layers are disclosed. A representative
waveguide includes a waveguide core having an air-gap cladding layer
engaging a portion of the waveguide core. In addition, a representative
method of fabricating a waveguide having an air-gap cladding layer
includes: providing a substrate having a lower cladding layer disposed on
the substrate; disposing a waveguide core on a portion of the lower
cladding layer; disposing a sacrificial layer onto at least one portion of
the lower cladding layer and the waveguide core; disposing an overcoat
layer onto the lower cladding layer and the sacrificial layer; and
removing the sacrificial layer to define an air-gap cladding layer within
the overcoat polymer layer and engaging a portion of the waveguide core.
Os waveguides que têm camadas do cladding do air-gap e métodos de fabricar os waveguides que têm camadas do cladding do air-gap são divulgados. Um waveguide representativo inclui um núcleo do waveguide que tem uma camada do cladding do air-gap acoplar uma parcela do núcleo do waveguide. Além, um método representativo de fabricar um waveguide que tem uma camada do cladding do air-gap inclui: fornecendo uma carcaça que tem uma camada mais baixa do cladding disposta na carcaça; dispondo um núcleo do waveguide em uma parcela da camada mais baixa do cladding; dispondo uma camada sacrificial ao menos em uma parcela da camada mais baixa do cladding e do núcleo do waveguide; dispondo uma camada do sobretudo na camada mais baixa do cladding e na camada sacrificial; e removendo a camada sacrificial para definir uma camada do cladding do air-gap dentro da camada do polímero do sobretudo e acoplando uma parcela do núcleo do waveguide.
