A method of manufacturing a fluid ejection device having circular nozzles
includes forming channels in a substrate, depositing a sacrificial
material, such as photoresist, into channels to form a mold for the fluid
channels and a fluid reservoir and then forming the remainder of the fluid
ejection device above the sacrificial material on the substrate. Various
novel fluid heater structures and an in situ fluid filter may be formed
during the manufacturing process. The fluid ejection device can include a
heater element located in the fluid chamber behind the nozzle opening. The
geometry of the heating element can be planar. Alternatively, the heating
element can be located inside the channel in either a half-cylindrical or
fully-cylindrical configuration. The internal fluid pathways remain
protected from contaminants by the sacrificial material. After all layers
and manufacturing processes are complete, individual fluid ejection
devices are diced and the sacrificial material is removed.
Метод изготовлять жидкое приспособление отстрела имея круговые сопла вклюает формировать каналы в субстрат, депозируя жертвенный материал, such as фоторезист, в каналы для того чтобы сформировать прессформу для жидких каналов и жидкого резервуара и после этого формируя остаток жидкого приспособления отстрела над жертвенным материалом на субстрате. Структуры подогревателя различного романа жидкие и in situ жидкий фильтр могут быть сформированы во время процесса производства. Жидкое приспособление отстрела может включить элемент подогревателя расположенный в жидкой камере за отверстием сопла. Геометрия нагревающего элемента может быть плоскостна. Друг, нагревающий элемент можно устроить внутри канала в или половин-qilindricesko1 или полн-qilindricesko1 конфигурации. Внутренне жидкие pathways остают защищенными от загрязняющьих елементов жертвенным материалом. После всех слоев и процесса производства закончены, индивидуальные жидкие приспособления отстрела diced и жертвенный материал извлекается.
