A method of preparing a schedule for a substrate processing apparatus
having a plurality of resources for processing substrates, the schedule
determining timing of using each resource for processing the substrate.
The method comprising the steps of determining the timing of using each
resource in advance of starting an actual processing of the substrates,
defining a capacity resource as a resource usable within a maximum
quantity of consumption of a consumer item used by the resources, and
using the resources in processing the substrates while avoiding a total
quantity of the consumer item used by the resources exceeding the maximum
quantity of consumption of the capacity resource.
Une méthode de préparer un programme pour un substrat traitant l'appareil ayant une pluralité de ressources pour traiter des substrats, le programme déterminant la synchronisation d'employer chaque ressource pour traiter le substrat. La méthode comportant les étapes de déterminer la synchronisation d'employer chaque ressource avant commencer un traitement réel des substrats, définir une ressource de capacité comme ressource utilisable dans une quantité maximum de consommation d'un article du consommateur employé par les ressources, et employer les ressources en traitant les substrats tout en évitant une quantité totale de l'article du consommateur employé par les ressources excédant la quantité maximum de consommation de la ressource de capacité.
