A semiconductor manufacturing apparatus includes a light source and a
lighting device that lights the light the light source A connector
connects the light source and the lighting device with a metal piece to
provide control of generation of noise accompanying increased electrical
power supplied to the lamp and control of the space required for
installation in a single housing having outer walls with electromagnetic
shielding. Temperature of the light source and the lighting device is
adjusted using air of the ambient atmosphere from outside the housing.
Un appareillage de fabrication de semi-conducteur inclut une source lumineuse et un dispositif d'éclairage qui allume la lumière le connecteur de la source lumineuse A relie la source lumineuse et le dispositif d'éclairage à un morceau en métal pour fournir la commande de la génération du bruit accompagnant le courant électrique accru assuré à la lampe et la commande de l'espace a exigé pour l'installation dans un logement simple ayant les murs externes avec l'armature électromagnétique. La température de la source lumineuse et du dispositif d'éclairage est ajustée en utilisant l'air de l'atmosphère ambiante de l'extérieur du logement.
