Coherent illumination is used to illuminate a symmetrical alignment mark
with an image rotation interferometer producing two images of the
alignment mark, rotating the images 1800 with respect to each other, and
recombining the images interferometrically. The recombined images
interfere constructively or destructively, in an amplitude and or
polarization sense depending upon the method of recombination, when the
alignment sensor is located at the center of the alignment mark. The
rotation interferometer is preferably a solid glass assembly made of a
plurality of prisms. A detector extracts the alignment information from
the image rotation interferometer. The resulting center of the alignment
mark is accurately determined. A relatively large number of different
alignment mark patterns may be utilized, as long as the alignment mark
patterns exhibit one hundred and eighty degree symmetry. Parallel lines, a
grid pattern, or a checkerboard grating may be used. The alignment sensor
may be applied to a scanning photolithographic system providing sinusoidal
alignment signals. The alignment system is particularly applicable to
photolithography as used in semiconductor manufacturing.
Когерентное освещение использовано для того чтобы осветить симметрично метку выравнивания с интерферометром вращения изображения производящ 2 изображения метки выравнивания, поворачивающ изображения 1800 по отношению к себе, и перекомбинирующ изображения interferometrically. Перекомбинированные изображения мешают конструктивно или разрушительн, в амплитуде и или чувстве поляризации зависящ на методе рекомбинации, когда датчик выравнивания расположен на центре метки выравнивания. Интерферометр вращения будет предпочтительн твердым стеклянным агрегатом сделанным множественности призм. Детектор извлекает данные по выравнивания от интерферометра вращения изображения. Приводя к центр метки выравнивания точно обусловлен. Относительно большой количество по-разному картин метки выравнивания может быть использован, как длиной по мере того как картины метки выравнивания exhibit одна симметрия 100 и 80 градусов. Параллельные линии, картина решетки, или решетка checkerboard могут быть использованы. Датчик выравнивания может быть приложен к системе скеннирования photolithographic подавая синусоидальные сигналы выравнивания. Система выравнивания определенно применима к фотолитографии как использовано в изготавливании полупроводника.
