To provide a miniaturized voltage controlled oscillator which can oscillate
simultaneously a plurality of frequencies and has high stability of
frequency, an excellent low phase noise, small variation per hour, and a
wide frequency variable range.
A thin film bulk acoustic wave resonator using single crystal ferroelectric
material equal to or smaller than 10 .mu.m in thickness whose direction of
polarization is aligned to the direction of thickness is utilized as the
piezoelectric member. The voltage controlled oscillator having large
changing rate of the oscillation frequency of 0.01%/V or more and an
extremely small phase noise is provided by changing the voltage applied to
the electrodes.
Fornire una tensione miniaturizzata ha controllato l'oscillatore che può oscillare simultaneamente una pluralità di frequenze ed ha alta stabilità di frequenza, un rumore basso eccellente di fase, piccola variazione all'ora e una gamma larga di variabile di frequenza. Un risonatore dell'onda acustica alla rinfusa della pellicola sottile usando il materiale ferroelectric del monocristallo uguale a o più piccolo il mu.m di 10 di lo spessore di cui il senso di polarizzazione è stato allineato al senso di spessore è utilizzato come il membro piezoelettrico. L'oscillatore controllato tensione che ha grande tasso cambiante della frequenza di oscillazione di 0.01%/V o di più e di rumore estremamente piccolo di fase è fornito cambiando la tensione applicata agli elettrodi.
