Embodiments of the invention provide an electro-analytical method for
determining the concentration of an organic additive in an acidic or basic
metal plating bath using an organic chemical analyzer. The method includes
preparing a supporting-electrolyte solution, preparing a testing solution
including the supporting-electrolyte solution and a standard solution,
measuring an electrochemical response of the supporting-electrolyte
solution using the organic chemical analyzer, and implementing an
electro-analytical technique to determine the concentration of the organic
additive in the plating bath from the electrochemical response
measurements. The method is performed for independently analyzing one
organic additive component in a plating bath containing multi-component
organic additives, regardless of knowledge of the concentration of other
organic additives and with minimal interference among organic additives.
Les modes de réalisation de l'invention fournissent une méthode électroanalytique pour déterminer la concentration d'un additif organique dans un bain à métallisation acide ou de base en utilisant un analyseur chimique organique. La méthode inclut préparer une solution d'soutenir-électrolyte, préparant une solution d'essai comprenant la solution d'soutenir-électrolyte et une solution étalon, mesurant une réponse électrochimique de la solution d'soutenir-électrolyte en utilisant l'analyseur chimique organique, et mettant en application une technique électroanalytique pour déterminer la concentration de l'additif organique dans le bain d'électrodéposition des mesures électrochimiques de réponse. La méthode est exécutée pour analyser indépendamment un composant additif organique dans un bain d'électrodéposition contenant les additifs organiques à plusieurs éléments, indépendamment de la connaissance de la concentration d'autres additifs organiques et avec l'interférence minimale parmi les additifs organiques.
