Microelectromechanical (MEMS) devices that use MEMS electromagnetic
actuators to selectively generate displacement forces are disclosed
herein. According to one exemplary embodiment disclosed herein, a MEMS
device may include a substrate having a surface, an actuable element at
least partially formed from the substrate, and an electromagnetic actuator
disposed on the substrate for selectively applying a first force to the
actuable element to displace the actuable element along a path. The
actuable element may have a base and an arm coupled to the base. The base
may include a portion comprised of a magnetic material. The
electromagnetic actuator may comprise an electrically conductive coil, and
the path of the actuable element may pass through a coil gap in the coil.
The electromagnetic actuator may also comprise a magnetic core about which
the electrically conductive coil may be wound.
Microelectromechanical apparaten (van MEMS) die elektromagnetische actuators MEMS gebruiken om verplaatsingskrachten selectief te produceren worden hierin onthuld. Volgens één voorbeeldige hierin onthulde belichaming, kan een apparaat MEMS een substraat omvatten dat een oppervlakte, een actuable element heeft die gedeeltelijk van minstens het substraat wordt gevormd, en elektromagnetische actuator die op het substraat voor selectief het toepassen van een eerste kracht op het actuable element wordt geschikt om het actuable element langs een weg te verplaatsen. Het actuable element kan een basis en een wapen hebben dat aan de basis wordt gekoppeld. De basis kan een gedeelte omvatten dat van een magnetisch materiaal wordt samengesteld. Elektromagnetische actuator kan uit een elektrisch geleidende rol bestaan, en de weg van het actuable element kan door een rolhiaat in de rol overgaan. Elektromagnetische actuator kan uit een magnetische kern ook bestaan waarover de elektrisch geleidende rol kan worden gewonden.
