Patterning of nanocrystalline diamond films for diamond microstructures useful in MEMS and other devices

   
   

MEMS structure and a method of fabricating them from ultrananocrystalline diamond films having average grain sizes of less than about 10 nm and feature resolution of less than about one micron . The MEMS structures are made by contacting carbon dimer species with an oxide substrate forming a carbide layer on the surface onto which ultrananocrystalline diamond having average grain sizes of less than about 10 nm is deposited. Thereafter, microfabrication process are used to form a structure of predetermined shape having a feature resolution of less than about one micron.

Structuur MEMS en een methode om hen van de films die van de ultrananocrystallinediamant te vervaardigen gemiddelde korrelgrootte van minder hebben dan ongeveer 10 NM - en eigenschapresolutie van minder dan ongeveer één micron. De structuren MEMS worden gemaakt door de soorten van het koolstofdimeer met een oxydesubstraat te contacteren vormt een carbidelaag op de oppervlakte waarop de ultrananocrystallinediamant die gemiddelde korrelgrootte van minder heeft dan ongeveer 10 NM wordt gedeponeerd. Daarna, wordt het microfabricationproces gebruikt om een structuur van vooraf bepaalde vorm te vormen die een eigenschapresolutie van minder heeft dan ongeveer één micron.

 
Web www.patentalert.com

< Method and device for treating exhaust gases produced by an internal combustion engine

< Process for preparing silicate porous product

> Hydrocarbon conversion process and catalyst useful therein

> Method for anion removal by forming chemical precipitation under an electric field and continuous process for anion removal

~ 00141