MEMS structure and a method of fabricating them from ultrananocrystalline
diamond films having average grain sizes of less than about 10 nm and
feature resolution of less than about one micron . The MEMS structures are
made by contacting carbon dimer species with an oxide substrate forming a
carbide layer on the surface onto which ultrananocrystalline diamond
having average grain sizes of less than about 10 nm is deposited.
Thereafter, microfabrication process are used to form a structure of
predetermined shape having a feature resolution of less than about one
micron.
Structuur MEMS en een methode om hen van de films die van de ultrananocrystallinediamant te vervaardigen gemiddelde korrelgrootte van minder hebben dan ongeveer 10 NM - en eigenschapresolutie van minder dan ongeveer één micron. De structuren MEMS worden gemaakt door de soorten van het koolstofdimeer met een oxydesubstraat te contacteren vormt een carbidelaag op de oppervlakte waarop de ultrananocrystallinediamant die gemiddelde korrelgrootte van minder heeft dan ongeveer 10 NM wordt gedeponeerd. Daarna, wordt het microfabricationproces gebruikt om een structuur van vooraf bepaalde vorm te vormen die een eigenschapresolutie van minder heeft dan ongeveer één micron.
