A profiling method compensates for phase changes associated with the
presence of multiple or varying material in the area to be measured. The
profiling method measures at least a portion of the height profile of the
area of interest. The phase of the different materials in the region are
also obtained and used to generate a correction factor. Depending on the
type of material in the region of interest, the correction factor may be
the material specific phase difference of the materials in the region, e
g., when at least one of the materials is opaque to the wavelength of
light used to measure the height profile, or the relationship between the
thickness and phase of the material for a desired thickness range, e.g.,
when one or more of the materials is transparent to the wavelengths used
to measure the height profile. The correction factor is then used to
correct and/or convert the measured phase profile to an actual height
profile. Accordingly, an accurate height profile may be obtained for
regions that include dishing, erosion, or that contain various types of
materials.
Um método perfilando compensa para as mudanças da fase associadas com a presença do material múltiplo ou variando na área a ser medida. O método perfilando mede ao menos uma parcela do perfil da altura da área de interesse. A fase dos materiais diferentes na região também é obtida e usada gerar um fator da correção. Dependendo do tipo de material na região do interesse, o fator da correção pode ser a diferença de fase específica material dos materiais na região, em e g., quando ao menos um dos materiais é opaco ao wavelength da luz usado medir o perfil da altura, ou no relacionamento entre a espessura e a fase do material para uma escala desejada da espessura, por exemplo, quando um ou mais dos materiais são transparente aos wavelengths usados medir o perfil da altura. O fator da correção é usado então corrigir e/ou converter o perfil medido da fase a um perfil real da altura. Conformemente, um perfil exato da altura pode ser obtido para as regiões que incluem tornar côncavo, erosão, ou que contêm vários tipos de materiais.
