A system for making small modifications to the pattern in standard
processed semiconductor devices. The modifications are made to create a
small variable part of the pattern against a large constant part of the
same pattern. In a preferred embodiment the exposure of the variable and
constant parts are done with the same wavelength in the same combined
stepper and code-write. The invention devices a way of writing variable
parts of the chip that is automatic, inexpensive and risk-free. A system
for automatic design and production of die-unique patterns is also shown.
Um sistema para fazer modificações pequenas ao teste padrão em dispositivos de semicondutor processados padrão. As modificações são feitas para criar uma parte variável pequena do teste padrão de encontro a uma parte constante grande do mesmo teste padrão. Em uma incorporação preferida a exposição das peças variáveis e constantes é feita com o mesmo wavelength no mesmo deslizante combinado e código-escreve. Os dispositivos da invenção uma maneira das peças variáveis da escrita da microplaqueta que é automática, barata e risco-livre. Um sistema para o projeto e a produção automáticos de testes padrões morr-originais é mostrado também.
