The invention addresses a micro-electro-mechanical (MEMS) device, or an
array of such devices, for use in an optical communication system and a
method of manufacture therefore. An embodiment of the device includes a
moveable element support structure, a moveable element and torsional
members that couple the moveable element support structure and the
moveable element and allow the moveable element to gimbal with respect to
the support structure. The inventive device includes torsional members
that are substantially free of corrosion thereby producing a device with
improved response characteristics. The method includes using an etchant
that substantially inhibits corrosion of the torsional members.
De uitvinding richt een micro-electro-mechanical apparaat (van MEMS), of een serie van dergelijke apparaten, voor gebruik in een optisch communicatie systeem en een methode van vervaardiging daarom. Een belichaming van het apparaat omvat een beweegbare structuur van de elementensteun, een beweegbaar element en gewrongen leden die de beweegbare structuur van de elementensteun en het beweegbare element koppelen en het beweegbare element aan gimbal met betrekking tot de steunstructuur toestaan. Het vindingrijke apparaat omvat gewrongen leden die van corrosie die daardoor een apparaat met betere reactiekenmerken wezenlijk vrij zijn produceert. De methode omvat het gebruiken etchant die wezenlijk corrosie van de gewrongen leden remt.
