A micromachined capacitive electrical component such as a condenser
microphone with a support structure and a rigid plate with an electrically
conductive plate electrode secured to the support structure at discrete
locations. A diaphragm of a substantially non-conductive material is
secured to the support structure along its periphery at a predetermined
distance from the substantially rigid plate, whereby the substantially
rigid plate and the diaphragm define an air gap. The diaphragm is movable
in response to sound pressure and carries an electrically conductive
diaphragm electrode. The support structure and the diaphragm electrode are
electrically interconnected so as to have substantially the same
electrical potential. A layer of a substantially non-conductive material
is disposed between the substantially rigid plate and the support
structure at least at the discrete locations. Such a transducer is
suitable for use in existing scientific and industrial sound measurement
equipment using high polarization voltages, eg 200 V.
A micromachined le composant électrique capacitif tel qu'un microphone de condensateur avec une structure de soutènement et un plat rigide avec une électrode électriquement conductrice de plat fixée sur la structure de soutènement aux endroits discrets. Un diaphragme d'un matériel essentiellement non-conducteur est fixé sur la structure de soutènement le long de sa périphérie à une distance prédéterminée du plat essentiellement rigide, par lequel le plat essentiellement rigide et le diaphragme définissent un espace d'air. Le diaphragme est mobile en réponse à la pression acoustique et porte une électrode électriquement conductrice de diaphragme. La structure de soutènement et l'électrode de diaphragme sont électriquement reliées ensemble afin d'avoir sensiblement le même potentiel électrique. Une couche d'un matériel essentiellement non-conducteur est disposée entre le plat essentiellement rigide et la structure de soutènement au moins aux endroits discrets. Un tel capteur convient pour l'usage en existant équipement scientifique et industriel de mesure du bruit en utilisant des tensions élevées de polarisation, par exemple 200 V.
