The present invention is directed to an optical proximity correction driven
hierarchy. A method for constructing a hierarchy of optically independent
structures for use in optical proximity correction of a circuit may
include receiving an integrated circuit design, the design including
geometric circuit elements for providing circuit functions of an
integrated circuit. At least a portion of the integrated circuit design is
exploded and geometric circuit elements of the exploded integrated circuit
design are gathered into optically independent classes. A search is then
performed for congruency for each optically independent class.
La presente invenzione è diretta verso una gerarchia guidata correzione ottica di prossimità. Un metodo per la costruzione della gerarchia con strutture otticamente indipendenti per uso nella correzione ottica di prossimità di un circuito può includere la ricezione del disegno del circuito integrato, il disegno compreso gli elementi del circuito geometrici per fornire le funzioni del circuito di un circuito integrato. Almeno una parte del disegno del circuito integrato è esplosa e gli elementi del circuito geometrici del disegno esploso del circuito integrato sono riuniti nei codici categoria otticamente indipendenti. Una ricerca allora è effettuata per il congruency per ogni codice categoria otticamente indipendente.
