Methods for reducing feature sizes of devices such as electromagnetic
sensors are disclosed. A track width of a MR sensor is defined by a mask
having an upper layer with a reduced width and a lower layer with a
further reduced width. Instead of or in addition to being supported by the
lower layer in the area defining the sensor, the upper layer is supported
by the lower layer in areas that do not define the sensor width. In some
embodiments the upper layer forms a bridge mask, supported at its ends by
the lower layer, and the lower layer is completely removed over an area
that will become a sensor. Also disclosed is a mask having more than two
layers, with a bottom layer completely removed over the sensor area, and a
middle layer undercut relative to a top layer.
Os métodos para reduzir tamanhos da característica dos dispositivos tais como sensores eletromagnéticos são divulgados. Uma largura de trilha de um SR. sensor é definida por uma máscara que tem uma camada superior com uma largura reduzida e uma camada mais baixa com uma largura reduzida mais adicional. Em vez de ou além a ser suportado pela camada mais baixa na área que define o sensor, a camada superior é suportada pela camada mais baixa nas áreas que não definem a largura do sensor. Em algumas incorporações a camada da parte superior dá forma a uma máscara da ponte, suportada em suas extremidades pela camada mais baixa, e a camada mais baixa é removida completamente sobre uma área que se transforme um sensor. São divulgadas também uma máscara que têm mais de duas camadas, com uma camada inferior removida completamente sobre a área do sensor, e uma camada média undercut relativo a uma camada superior.
