An electron beam test system is capable of judging high/low potentials with
respect to a DC signal and a signal having no change in potential. The
electron beam test system analyzes breakdowns by irradiating an electron
beam to a semiconductor integrated circuit device to be analyzed and
obtaining a potential contrast. The electron beam test system has a
tester, an electron gun and a detector. The tester holds a test pattern to
be supplied to the semiconductor integrated circuit device for a
predetermined time, and performs an operation of changing direct current
power source and an input signal to a reference potential at high speed on
the semiconductor integrated circuit device. The electron gun irradiates
the electron beam to the semiconductor integrated circuit device. The
detector takes in the potential contrast right after the direct current
power source and the input signal are changed to the reference potential.
Een systeem van de elektronenstraaltest kan hoog/laag potentieel met betrekking tot een signaal van DC en een signaal beoordelen die geen verandering in potentieel hebben. Het systeem van de elektronenstraaltest analyseert uitsplitsingen door een elektronenstraal aan een halfgeleider te analyseren apparaat van geïntegreerde schakelingen te bestralen en een potentieel contrast te verkrijgen. Het systeem van de elektronenstraaltest heeft een meetapparaat, een elektronenkanon en een detector. Het meetapparaat houdt een testpatroon dat aan het halfgeleiderapparaat van geïntegreerde schakelingen voor een vooraf bepaalde tijd moet worden geleverd, en voert een handeling van veranderende directe huidige krachtbron en een inputsignaal aan een verwijzingspotentieel bij uit hoge snelheid op het halfgeleiderapparaat van geïntegreerde schakelingen. Het elektronenkanon bestraalt de elektronenstraal aan het halfgeleiderapparaat van geïntegreerde schakelingen. De detector neemt in het potentiële contrastrecht nadat de directe huidige krachtbron en het inputsignaal worden veranderd in het verwijzingspotentieel.
