Optical waveguide element and method of fabrication thereof

   
   

A ridge type channel optical waveguide is formed in an optical waveguide layer. A cladding layer having a refractive index smaller than that of the optical waveguide layer and having a width substantially the same as that of the channel optical waveguide and having a thickness which increases in a tapered manner toward an end surface, is formed above both of a light entering end portion and a light exiting end portion of the channel optical waveguide. By the cladding layer, a mode field diameter in a direction orthogonal to a substrate surface can be enlarged, and a coupling loss with an optical fiber can be greatly reduced. Further, loss due to mode mismatching can be prevented by a light confining effect.

Un tipo guida di onde ottica della cresta della scanalatura è formato in uno strato ottico della guida di onde. Uno strato del rivestimento che ha un indice di rifrazione più piccolo di quello dello strato ottico della guida di onde e che ha una larghezza sostanzialmente lo stessi di quello della guida di onde ottica della scanalatura e che ha uno spessore che aumenta di modo affusolato verso una superficie dell'estremità, è formato sopra entrambe una parte terminale entrante chiara e una parte terminale rimuovente chiara della guida di onde ottica della scanalatura. Dallo strato del rivestimento, un diametro di campo di modo in un senso ortogonale ad una superficie del substrato può essere ingrandito e una perdita di accoppiamento con una fibra ottica può notevolmente essere ridotta. Più ulteriormente, la perdita dovuto il disadattamento di modo può essere evitata da un effetto di confine chiaro.

 
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