An exposure apparatus includes a stage which moves with an object thereon.
A surface position detector is arranged to detect a surface position of
the object at a timing that is asynchronous to a reference signal, and is
provided for controlling the stage.
Прибор выдержки вклюает этап двигает с предметом thereon. Аранжированы, что обнаруживает поверхностное положение предмета на времени асинхронно к сигналу справки, и обеспечен поверхностный детектор положения для контролировать этап.
