An optical scanning assembly detects positions of wafer specimens stored in
a transport box. The scanning assembly includes first and second
spaced-apart optical component mounts operatively connected to a
deployment mechanism that moves them between extended and retracted
positions. The extended positions facilitate specimen scanning operation,
and the retracted positions facilitate carrier box front side access
during specimen non-scanning processing. A preferred embodiment is a
scanning assembly of a differential optical type.
Eine optische Abtastung ermittelt Positionen der Oblateprobestücke, die in einem Transportkasten gespeichert werden. Die Abtastung schließt die zuerst und an zweiter Stelle Raum-auseinander optischen Bestandteileinfassungen mit ein, die wirksam an eine Entwicklungeinheit angeschlossen werden, die sie zwischen die ausgedehnten und gezurückzogenen Positionen verschiebt. Die ausgedehnten Positionen erleichtern Probestückabtastungbetrieb, und die gezurückzogenen Positionen erleichtern Vorderseitezugang des Fördermaschinekastens während der Probestück Nichtabtastung Verarbeitung. Eine bevorzugte Verkörperung ist ein Abtastungzusammenbau einer differentialen optischen Art.
