Support device and manufacturing method thereof, stage device, and exposure apparatus

   
   

To provide a low-stiffness air spring function without increasing the size of the equipment, a support frame, which supports a first gas chamber that is filled with a gas and that supports an object using the gas, is modified so that there is a second gas chamber, connected to the first gas chamber, provided within the support frame.

Um eine Niedrigsteifheit zur Verfügung zu stellen lüften Sie Frühling Funktion ohne die Größe der Ausrüstung zu erhöhen, ein Unterstützungsrahmen, der einen ersten Gasraum stützt der mit einem Gas gefüllt wird und der einen Gegenstand mit dem Gas stützt, wird geändert damit es einen zweiten Gasraum gibt, angeschlossen an den ersten Gasraum, vorausgesetzt innerhalb des Unterstützungsrahmens.

 
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