A method of performing imprint lithography of a surface of a workpiece
including a substrate, wherein a stamper/imprinter comprised of a material
having thermal expansion characteristics different from the material of
said substrate is utilized for embossing a desired pattern in said
workpiece surface, the method comprising conducting the embossing at room
temperature in order to avoid deleterious effects arising from differences
in thermal expansion/contraction characteristics between the
stamper/imprinter and the workpiece which occur during conventional
imprinting at elevated temperatures. Embodiments of the invention include
forming servo patterns in disk-shaped substrates utilized in the
manufacture of hard disk magnetic recording media.
Un método de realizar la litografía de la impresión de una superficie de un objeto incluyendo un substrato, en donde un stamper/imprinter abarcado de un material que tiene características de la extensión termal diferentes del material del substrato dicho se utiliza para realzar un patrón deseado en la superficie dicha del objeto, el método que abarca conduciendo realzar en la temperatura ambiente para evitar los efectos deletéreos que se presentan de diferencias en características termales de expansion/contraction entre los stamper/imprinter y el objeto que ocurren durante la impresión convencional en las temperaturas elevadas. Las encarnaciones de la invención incluyen la formación de servo patrones en los substratos en forma de disco utilizados en la fabricación de los medios magnéticos de la grabación del disco duro.
