Imprint lithography utilizing room temperature embossing

   
   

A method of performing imprint lithography of a surface of a workpiece including a substrate, wherein a stamper/imprinter comprised of a material having thermal expansion characteristics different from the material of said substrate is utilized for embossing a desired pattern in said workpiece surface, the method comprising conducting the embossing at room temperature in order to avoid deleterious effects arising from differences in thermal expansion/contraction characteristics between the stamper/imprinter and the workpiece which occur during conventional imprinting at elevated temperatures. Embodiments of the invention include forming servo patterns in disk-shaped substrates utilized in the manufacture of hard disk magnetic recording media.

Un método de realizar la litografía de la impresión de una superficie de un objeto incluyendo un substrato, en donde un stamper/imprinter abarcado de un material que tiene características de la extensión termal diferentes del material del substrato dicho se utiliza para realzar un patrón deseado en la superficie dicha del objeto, el método que abarca conduciendo realzar en la temperatura ambiente para evitar los efectos deletéreos que se presentan de diferencias en características termales de expansion/contraction entre los stamper/imprinter y el objeto que ocurren durante la impresión convencional en las temperaturas elevadas. Las encarnaciones de la invención incluyen la formación de servo patrones en los substratos en forma de disco utilizados en la fabricación de los medios magnéticos de la grabación del disco duro.

 
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< Memory device with active passive layers

< Foam material comprising linear, isotactic polymers

> Jetting behavior in the laser forward transfer of rheological systems

> Electrically tunable microlens array formed by pattern polymerization of photopolymerizable mixtures containing liquid crystals

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