An illumination apparatus includes an inner-surface reflecting type
integrator, an optical system for directing a beam from a light source to
a portion of incidence of the inner-surface reflecting type integrator, an
wave-front splitting type integrator, an image-forming optical system for
arranging the portion of incidence of the inner-surface reflecting type
integrator approximately conjugate with a portion of incidence of the
wave-front splitting type integrator, and for directing a beam from the
beam mixer to the wave-front splitting type integrator, and an irradiating
optical system for superimposing multiple beams from the wave-front
splitting type integrator on a plane to be irradiated, wherein a stop is
provided at or near the portion of exit of the inner-surface reflecting
type integrator.
Un aparato de la iluminación incluye un tipo de reflejo integrador, un sistema óptico de la interno-superficie para dirigir una viga de una fuente de luz a una porción de la incidencia del tipo de reflejo integrador, un tipo que parte integrador, un sistema óptico de imagen-formacio'n de la interno-superficie del frente de onda para arreglar la porción de la incidencia del tipo de reflejo conjugación de la interno-superficie del integrador aproximadamente con una porción de la incidencia del tipo que parte integrador del frente de onda, y para dirigir una viga del mezclador de la viga al tipo que parte integrador del frente de onda, y a un sistema óptico de irradiación para sobreponer vigas múltiples del tipo que parte integrador del frente de onda en un plano que se irradiará, en donde una parada se proporciona en o cerca de la porción de la salida de el tipo de reflejo integrador de la interno-superficie.
