The substrate carrier management system includes a pre-diffusion processing
apparatus, a carrier cleaner, and a carrier conveyer. The pre-diffusion
processing apparatus unloads a substrate from a supplied carrier in which
the substrate is stored, performs predetermined processing on the
substrate, and transfers the processed substrate stored in a carrier to be
used after processing. The carrier cleaner cleans a carrier emptied as a
result of taking a substrate out of the carrier. The carrier conveyer
conveys a carrier between the pre-diffusion processing apparatus and the
carrier cleaner. The empty carrier unloaded from the pre-diffusion
processing apparatus is cleaned by the carrier cleaner, and the processed
substrate is stored in the empty carrier. With this arrangement, it is
possible to automatically change carriers and thereby continuously use a
cleaned carrier in the subsequent step without using a dedicated carrier.
Το σύστημα διαχείρισης μεταφορέων υποστρωμάτων περιλαμβάνει μια συσκευή επεξεργασίας προ-διάχυσης, έναν καθαριστή μεταφορέων, και έναν μεταφορέα μεταφορέων. Η συσκευή επεξεργασίας προ-διάχυσης ξεφορτώνει ένα υπόστρωμα από έναν παρεχόμενο μεταφορέα στο οποίο το υπόστρωμα αποθηκεύεται, εκτελεί την προκαθορισμένη επεξεργασία στο υπόστρωμα, και μεταφέρει το επεξεργασμένο υπόστρωμα που αποθηκεύεται σε έναν μεταφορέα που χρησιμοποιείται μετά από την επεξεργασία. Ο καθαριστής μεταφορέων καθαρίζει έναν μεταφορέα που εκκενώνεται ως αποτέλεσμα της λήψης ενός υποστρώματος από το μεταφορέα. Ο μεταφορέας μεταφορέων μεταβιβάζει έναν μεταφορέα μεταξύ των συσκευών επεξεργασίας προ-διάχυσης και του καθαριστή μεταφορέων. Ο κενός μεταφορέας που ξεφορτώνεται από τις συσκευές επεξεργασίας προ-διάχυσης καθαρίζεται από τον καθαριστή μεταφορέων, και το επεξεργασμένο υπόστρωμα αποθηκεύεται στον κενό μεταφορέα. Με αυτήν την ρύθμιση, είναι δυνατό να αλλαχτούν αυτόματα οι μεταφορείς και με αυτόν τον τρόπο να χρησιμοποιήσουν συνεχώς έναν καθαρισμένο μεταφορέα στο επόμενο βήμα χωρίς χρησιμοποίηση ενός αφιερωμένου μεταφορέα.
