A lower electrode layer and a lower metallic layer are formed on a
substrate, and a TMR multi-layer film is formed thereon. TMR multi-layer
film is made up of a lower ferromagnetic layer, a tunnel barrier layer, an
upper ferromagnetic layer, a pinning layer and a capping layer. In a
region where a terminal is provided, a dummy lower electrode layer and a
dummy lower metallic layer are formed on the substrate, and a dummy film
is formed thereon. The dummy film has the same film composition as that of
the TMR multi-layer film. For defining a shape of a tunnel joint, the
capping layer through a halfway point in the lower ferromagnetic layer are
selectively etched. In this etching process, the dummy film is also etched
at the same time. In the etching process, a measurement for identifying
elements scattered from the TMR multi-layer film and the dummy film is
performed so as to control a position at which the etching is to be
stopped.
Uma camada mais baixa do elétrodo e uma camada metálica mais baixa são dadas forma em uma carcaça, e uma película multi-layer de TMR é dada forma thereon. A película multi-layer de TMR é composta de uma camada ferromagnetic mais baixa, de uma camada de barreira do túnel, de uma camada ferromagnetic superior, de uma camada fixando e de uma camada tampando. Em uma região onde um terminal seja fornecido, uma camada mais baixa dummy do elétrodo e uma camada metálica mais baixa dummy são dadas forma na carcaça, e uma película dummy é dada forma thereon. A película dummy tem a mesma composição da película que aquela da película multi-layer de TMR. Para definir uma forma de uma junção do túnel, a camada tampando através de um ponto incompleto na camada ferromagnetic mais baixa é gravada seletivamente. Neste processo gravura a água-forte, a película dummy é gravada também ao mesmo tempo. No processo gravura a água-forte, uma medida para identificar os elementos dispersados da película multi-layer de TMR e da película dummy é executada para controlar uma posição em que gravura a água-forte deve ser parada.
