A multizone, segmented showerhead provides a gas impingement flux
distribution which is controllable in two lateral dimensions to achieve
programmable uniformity in chemical vapor deposition, in plasma deposition
and etching and other processes. Recirculation (pumping) of exhaust gases
back through the showerhead reduces intersegment mixing to achieve a high
degree of spatial control of the process. This spatial control of the
impinging gas flux distribution assures that uniformity can be achieved at
process design points selected to optimize materials performance. Spatial
control also permits rapid experimentation by enabling the introduction of
intentional nonuniformities so that combinatorial data from across the
wafer/substrate provides results of simultaneous experiments at different
process design points. This ability is useful for process tuning and
optimization in manufacturing or for rapid materials and process discovery
and optimization in research and development.
Ein Vielzonen-, segmentiertes showerhead liefert eine Gaszusammenstoss-Flußverteilung, die in zwei seitlichen Maßen kontrollierbar ist, programmierbare Gleichförmigkeit in der Absetzung des chemischen Dampfes, in der Plasmaabsetzung zu erzielen und Radierung und andere Prozesse. Umlauf (Pumpen) der Abgase zurück durch das showerhead verringert das intersegment, das mischt, um einen hohen Grad räumliche Steuerung des Prozesses zu erzielen. Diese räumliche Steuerung der Zusammenstoßengas-Flußverteilung versichert, daß Gleichförmigkeit an den Prozeßdesignpunkten erzielt werden kann, die vorgewählt werden, um Materialleistung zu optimieren. Räumliche Steuerung ermöglicht auch schnelles Experimentieren, indem sie der Einleitung der absichtlichen nonuniformities ermöglicht, damit kombinatorische Daten über vom wafer/substrate Resultate der simultanen Experimente an den unterschiedlichen Prozeßdesignpunkten zur Verfügung stellen. Diese Fähigkeit ist für das Prozeßabstimmen und Optimierung in der Herstellung oder für schnelle Materialien und Prozeßentdeckung und Optimierung in der Forschung und in der Entwicklung nützlich.
