Method and apparatus for manufacture and inspection of flat articles, such
as flat planel display substrates, that are manufactured in a
contamination-sensitive environment. In particular, a manufacturing step
such as applying coatings to the article is performed in a self-contained
micro-environment, typically characterized by an airborn particulate
concentration which is substantially lower than its surroundings.
Automated inspection apparatus is provided inside the self-contained
micro-environment of the fabrication equipment to inspect the article
after completion of the fabrication step and before transfer of the
article to other fabrication equipment. The inspection apparatus includes
an illumination subsystem illuminating the article with various
configurations of dark field and bright field illumination, a staring
array sensor capturing images of the article under various illumination
configurations and a computer that analyzes the images to automatically
detect defects.
Método y aparato para la fabricación y la inspección de artículos planos, tales como substratos planos de la exhibición del planel, que se fabrican en un ambiente contaminacio'n-sensible. En detalle, un paso de la fabricación tal como aplicación de capas al artículo se realiza en un microambiente autónomo, caracterizado típicamente por una concentración de partículas del airborn que sea substancialmente más baja que sus alrededores. El aparato automatizado de la inspección se proporciona dentro del microambiente autónomo del equipo de la fabricación para examinar el artículo después de la terminación del paso de la fabricación y antes de la transferencia del artículo al otro equipo de la fabricación. El aparato de la inspección incluye un subsistema de la iluminación que ilumina el artículo con varias configuraciones del campo oscuro y de la iluminación brillante del campo, imágenes que capturan el mirar fijamente de un sensor del arsenal del artículo bajo varias configuraciones de la iluminación y una computadora que analice las imágenes para detectar automáticamente defectos.
