Transformer ignition circuit for a transformer coupled plasma source

   
   

According to one embodiment, an apparatus is described. An apparatus includes a vacuum chamber, an electrical transformer coupled to the vacuum chamber, and an ignition circuit. The electrical transformer induces an electromagnetic field within the vacuum chamber. The transformer includes a primary winding and a magnetic core. In addition, the transformer includes a secondary winding, to which the circuit used to ignite the vacuum chamber is coupled. The ignition circuit is used to establish a controlled capacitive discharge that is used to ignite the vacuum chamber.

Entsprechend einer Verkörperung wird ein Apparat beschrieben. Ein Apparat schließt einen Vakuumraum, einen elektrischen Transformator, der zum Vakuumraum verbunden werden, und einen Zündungstromkreis ein. Der elektrische Transformator verursacht ein elektromagnetisches auffangen innerhalb des Vakuumraumes. Der Transformator schließt eine Primärwicklung und einen Magnetkern ein. Zusätzlich schließt der Transformator eine Sekundärwicklung ein, zu der der Stromkreis, der benutzt wird, um den Vakuumraum anzuzünden, verbunden wird. Der Zündungstromkreis wird benutzt, um eine kontrollierte kapazitive Entladung herzustellen, die verwendet wird, um den Vakuumraum anzuzünden.

 
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