The invention discloses improvements in the so-called coated thermal flow
process for reducing the pattern dimension of a patterned resist layer on
a substrate to accomplish increased fineness of resist patterning, in
which a coating layer of a water-soluble resin formed on the patterned
resist layer is heat-treated to effect thermal shrinkage of the coating
layer with simultaneous reduction of the pattern dimension followed by
removal of the coating layer by washing with water. The improvement of the
process is obtained by using an aqueous coating solution admixed with a
water-soluble amine compound such as triethanolamine in addition to a
water-soluble resin such as a polyacrylic acid-based polymer. Further
improvements can be obtained by selecting the water-soluble resin from
specific copolymers including copolymers of (meth)acrylic acid and a
nitrogen-containing monomer such as N-vinylpyrrolidone,
N-vinylimidazolidinone and N-acryloylmorpholine as well as copolymers of
N-vinylpyrrolidone and N-vinylimidazolidinone in a specified
copolymerization ratio.
Η εφεύρεση αποκαλύπτει ότι οι βελτιώσεις στην αποκαλούμενη ντυμένη θερμική διαδικασία ροής για τη διάσταση σχεδίων διαμορφωμένη αντιστέκονται στο στρώμα σε ένα υπόστρωμα για να ολοκληρώσουν την αυξανόμενη λεπτομέρεια αντιστέκονται στη διαμόρφωση, στην οποία ένα στρώμα επιστρώματος μιας υδροδιαλυτής ρητίνης που διαμορφώνεται διαμορφωμένη αντιστέκεται στο στρώμα είναι υποβαλλόμενο σε θερμοθεραπεία για να επηρεάσει τη θερμική διακένωση του στρώματος επιστρώματος με την ταυτόχρονη μείωση της διάστασης σχεδίων που ακολουθείται από την αφαίρεση του στρώματος επιστρώματος από την πλύση με το ύδωρ. Η βελτίωση της διαδικασίας λαμβάνεται με τη χρησιμοποίηση μιας υδάτινης λύσης επιστρώματος που προσμειγνύεται με μια υδροδιαλυτή ένωση αμινών όπως triethanolamine εκτός από μια υδροδιαλυτή ρητίνη όπως ένα polyacrylic βασισμένο στο οξύ πολυμερές σώμα. Οι περαιτέρω βελτιώσεις μπορούν να ληφθούν με την επιλογή της υδροδιαλυτής ρητίνης από συγκεκριμένα copolymers συμπεριλαμβανομένων copolymers (meth)acrylic οξύ και ένα nitrogen-containing μονομερές όπως το ν- Vinylpyrrolidone, το ν- Vinylimidazolidinone και ν- Acryloylmorpholine καθώς επίσης και copolymers του ν- Vinylpyrrolidone και το ν- Vinylimidazolidinone σε διευκρινισμένη copolymerization αναλογία.
