A substrate processing pallet has a top surface and a plurality of side
surfaces. The top surface has at least one recess adapted to receive a
substrate. The recess includes a support structure adapted to contact a
portion of a substrate seated in the recess and a plurality of apertures
each adapted to accommodate a lift pin. Lift pins can extend through the
apertures initially to support the substrate and retract to deposit the
substrate onto the support structure. A side surface includes a process
positioning feature adapted to engage with a feature located in a process
chamber to position the pallet. A side surface includes a positioning
feature adapted to engage with an end effector alignment feature to
position the pallet with respect to the end effector during transport. A
side surface includes support features adapted to engage with end effector
support features to support the pallet during transport.
Een pallet van de substraatverwerking heeft een hoogste oppervlakte en een meerderheid van zijoppervlakten. De hoogste oppervlakte heeft minstens één reces dat wordt aangepast om een substraat te ontvangen. Het reces omvat een steunstructuur die wordt aangepast om een gedeelte van een substraat te contacteren gezet in het reces en een meerderheid van openingen elk aangepast om een liftspeld aan te passen. Hef spelden op kan zich door de openingen aanvankelijk uitbreiden om het substraat te steunen en in te trekken om het substraat op de steunstructuur te deponeren. Een zijoppervlakte omvat een proces plaatsende eigenschap die wordt om met een eigenschap die in een proceskamer in dienst te nemen wordt gevestigd aangepast om de pallet te plaatsen. Een zijoppervlakte omvat een plaatsende eigenschap die wordt aangepast om met een de groeperingseigenschap van de eindeffector in dienst nemen om de pallet met betrekking tot de eindeffector tijdens vervoer te plaatsen. Een zijoppervlakte omvat steuneigenschappen die worden aangepast om met de steuneigenschappen van de eindeffector in dienst nemen om de pallet tijdens vervoer te steunen.
