Microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system

   
   

A MEMS optical display system includes an illumination source for providing illumination light, a collimating lens for receiving the illumination light and forming from it collimated illumination light, and a converging microlens array having an array of lenslets that converge the collimated illumination light. The converging microlens array directs the illumination light to a microelectrical mechanical system (MEMS) optical modulator. The MEMS optical modulator includes, for example, a planar substrate through which multiple pixel apertures extend and multiple MEMS actuators that support and selectively position MEMS shutters over the apertures. A MEMS actuator and MEMS shutter, together with a corresponding aperture, correspond to pixel. The light from the converging microlens array is focused through the apertures and is selectively modulated according to the positioning of the MEMS shutters by the MEMS actuators, thereby to impart image information on the illumination light. The light is then passed to a diffused transmissive display screen by a projection microlens array.

Un système de visualisation optique de MEMS inclut une source d'illumination pour fournir la lumière d'illumination, un objectif de collimation pour recevoir la lumière d'illumination et former de lui a collimaté la lumière d'illumination, et les microlens convergents rangent avoir une rangée de lenslets qui convergent la lumière collimatée d'illumination. La rangée convergente de microlens dirige la lumière d'illumination vers un modulateur optique mécanique microelectrical du système (MEMS). Le modulateur optique de MEMS inclut, par exemple, un substrat planaire par lequel les ouvertures multiples de Pixel se prolongent et les déclencheurs multiples de MEMS qui soutiennent et placent sélectivement des obturateurs de MEMS au-dessus des ouvertures. Un déclencheur de MEMS et l'obturateur de MEMS, ainsi qu'une ouverture correspondante, correspondent au Pixel. La lumière de la rangée convergente de microlens est focalisée par les ouvertures et est sélectivement modulée selon le positionnement des obturateurs de MEMS par les déclencheurs de MEMS, pour donner de ce fait l'information d'image sur la lumière d'illumination. La lumière est alors passée à un écran de visualisation transmissive diffus par une rangée de microlens de projection.

 
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