The invention relates to a method for generating ultrapure steam by
oxidation of hydrogen in a closed torch with separate feed lines for
hydrogen and oxygen and a discharge line for discharging the steam which
is formed to a process chamber. The invention also relates to an
arrangement for carrying out the method. The invention is intended to
provide a method which is simple to implement and an arrangement for
generating ultrapure steam which results in a significantly extended
injector service life. For this purpose, oxygen and water are fed to the
torch in a slightly superstoichiometric ratio, and pure additional oxygen
is admixed with the steam formed during the combustion, when it enters the
process chamber, in order to generate a considerable excess of oxygen in
the steam. The associated device comprises a torch with feed lines for
feeding hydrogen and oxygen to the closed torch and a discharge line
leading to a process chamber. Each feed line being assigned a mass flow
controller. The discharge line leading to a process chamber is connected
to an additional oxygen feed line, which is also provided with a mass flow
controller.
Η εφεύρεση αφορά μια μέθοδο για τον ατμό ultrapure από την οξείδωση του υδρογόνου σε έναν κλειστό φανό με τις χωριστές γραμμές τροφών για το υδρογόνο και το οξυγόνο και μια γραμμή απαλλαγής για την απαλλαγή του ατμού που διαμορφώνεται σε μια αίθουσα διαδικασίας. Η εφεύρεση αφορά επίσης μια ρύθμιση για την πραγματοποίηση της μεθόδου. Η εφεύρεση προορίζεται να παρέχει μια μέθοδο που είναι απλή να εφαρμοστεί και μια ρύθμιση για την παραγωγή του ατμού ultrapure που οδηγεί σε μια σημαντικά εκτεταμένη ζωή υπηρεσιών εγχυτήρων. Για αυτόν το λόγο, το οξυγόνο και το ύδωρ ταϊ'ζονται στο φανό σε ελαφρώς superstoichiometric αναλογία, και το καθαρό πρόσθετο οξυγόνο προσμειγνύεται με τον ατμό που διαμορφώνεται κατά τη διάρκεια της καύσης, όταν εισάγει την αίθουσα διαδικασίας, προκειμένου να παραχθεί μια ιδιαίτερη υπερβολή του οξυγόνου στον ατμό. Η σχετική συσκευή περιλαμβάνει έναν φανό με τις γραμμές τροφών για τη σίτιση του υδρογόνου και του οξυγόνου στον κλειστό φανό και μια γραμμή απαλλαγής που οδηγεί σε μια αίθουσα διαδικασίας. Σε κάθε γραμμή τροφών που διορίζεται έναν ελεγκτή μαζικής ροής. Η γραμμή απαλλαγής που οδηγεί σε μια αίθουσα διαδικασίας συνδέεται με μια πρόσθετη γραμμή τροφών οξυγόνου, η οποία παρέχεται επίσης ένας ελεγκτής μαζικής ροής.
