Object of the preferred embodiment is to remove sol-form microparticles
and nitrogen components contained in CMP wastewater. Sol-form
microparticle components contained in CMP wastewater are removed by a
filtration treatment using a filter device 13, having a gel-form second
filter. Also, nitrogen components in the CMP wastewater are removed by an
electrochemical treatment using electrode 12. The filtration treatment
and the electrochemical treatment can be carried out in individual tanks
or can be carried out in the same tank. By performing the filtration
treatment and the electrochemical treatment in the same tank, a
space-saving water treatment device can be provided.
Gegenstand der bevorzugten Verkörperung ist, die Solenoid-Form Mikroteilchen und Stickstoffbestandteile zu entfernen, die im CMP Abwasser enthalten werden. die Solenoid-Form Mikroteilchenbestandteile, die im CMP Abwasser enthalten werden, werden durch eine Filtrationbehandlung mit einer Filtervorrichtung 13 entfernt und haben einen Gel-Form zweite Filter. Auch Stickstoffbestandteile im CMP Abwasser werden durch eine elektrochemische Behandlung mit Elektrode 12 entfernt. Die Filtrationbehandlung und die elektrochemische Behandlung können in den einzelnen Behältern durchgeführt werden oder können im gleichen Behälter durchgeführt werden. Vom Durchführen der Filtrationbehandlung und der elektrochemischen Behandlung im gleichen Behälter, kann eine Raumersparniswasserbehandlungvorrichtung zur Verfügung gestellt werden.
