The invention relates to lithographically formed, tapered waveguides
connectable to optical fibers. A tapered waveguide is formed by imagewise
exposing, in an oxygen containing atmosohere, and developing a
lithographic composition on a substrate. Exposure is conducted by a
converging beam of laser light which has a greater intensity a the bottom
surface of the coating composition, a lesser intensity at the top surface,
and a gradually decreasing intensity from the bottom surface to the top
surface of the coating composition. Either the substrate is moved with
respect to the converging beam, or the converging beam is moved with
respect to the substrate along a linear path. Either the moving is done at
a gradually increasing or gradually decreasing velocity or one gradually
increases or decreases the intensity of the beam of laser light along the
substrate. After developing and removing the non-polyrnerized portion of
the coating composition, a tapered waveguide is fornnd on the substrate.
The tapered waveguide may be attached to an optical fiber.
De uitvinding heeft op lithographically gevormde, verminderde golfgeleiders aansluitbaar aan optische vezels betrekking. Een verminderde golfgeleider wordt gevormd door beeldsgewijs, in een zuurstof te belichten die atmosohere, en een lithografische samenstelling op een substraat ontwikkelt bevat. De blootstelling wordt geleid door een convergerende straal van laserlicht die een grotere intensiteit de bodem van de deklaagsamenstelling, een kleinere intensiteit aan de hoogste oppervlakte, en een geleidelijk aan dalende intensiteit van de bodem aan de hoogste oppervlakte van de deklaagsamenstelling heeft. Of het substraat wordt bewogen met betrekking tot de convergerende straal, of de convergerende straal wordt bewogen met betrekking tot het substraat langs een lineaire weg. Of het bewegen zich wordt gedaan bij een geleidelijk aan stijgende of geleidelijk aan dalende snelheid of geleidelijk aan verhogingen één of vermindert de intensiteit van de straal van laserlicht langs het substraat. Na zich het ontwikkelen en verwijderen niet-polyrnerized gedeelte van de deklaagsamenstelling, is een verminderde golfgeleider fornnd op het substraat. De verminderde golfgeleider kan aan een optische vezel worden vastgemaakt.
