Hybrid integration of active and passive optical components on an Si-board

   
   

The present invention relates to an assembly structure and a method for assembling active and passive photonic and/or optoelectronic devices on a silicon board. The invention relates in particular to an assembly structure and a method for aligning the photonic devices during the assembling procedure. According to the present invention, the assembly structure comprises one or more alignment features comprising tapered side surface parts in directions at least substantially parallel to an optical axis. By providing a tapering in a direction in a direction at least substantially parallel to the first optical axis, any inaccuracies primarily affects the non-critical positioning in the direction along the optical axis, whereas the critical positioning transverse to the optical axis merely depends on the symmetry of alignment features. The errors from the inherent inaccuracy of the position and shape of alignment features are thereby minimized. Also, the devices to be aligned are preferably arranged on top of the alignment features which forms part of the basic structure on the silicon board. All alignment features can thereby be defined in a single mask step together with the structures with which the alignment is to be carried out, resulting in an improved accuracy of the assembly structure. The resulting components will be used especially for broadband telecommunication components.

La presente invenzione riguarda una struttura del complessivo e un metodo per il montaggio dei dispositivi photonic e/o optoelettronici attivi e passivi su un bordo del silicone. L'invenzione si riferisce in particolare ad una struttura del complessivo e ad un metodo per l'allineamento dei dispositivi photonic durante la procedura di montaggio. Secondo la presente invenzione, la struttura del complessivo contiene una o più caratteristiche di allineamento che contengono le parti di superficie laterali affusolate nei sensi almeno sostanzialmente paralleli ad un asse ottico. Fornendo affusolarsi in un senso in un senso il più minimo a sostanzialmente parallelo al primo asse ottico, tutte le inesattezze soprattutto interessa posizionare non critico nel senso lungo l'asse ottico, mentre posizionare critico trasversale all'asse ottico soltanto dipende dalla simmetria delle caratteristiche di allineamento. Gli errori dall'inesattezza inerente della posizione e della figura delle caratteristiche di allineamento quindi sono minimizzati. Inoltre, i dispositivi da allineare sono organizzati preferibilmente in cima alle caratteristiche di allineamento che le forme parte della struttura di base sul bordo del silicone. Tutte le caratteristiche di allineamento possono quindi essere definite ad un singolo punto della mascherina insieme alle strutture con cui l'allineamento deve essere effettuato, con conseguente esattezza migliorata della struttura del complessivo. I componenti risultanti saranno usati particolarmente per i componenti a banda larga di telecomunicazione.

 
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