In lithography applications, it is desirable to control, for example, a
position or width of a printed line. An effective method of controlling
these patterns and their resolution is by having as many grayscale levels
as possible. The present invention comprises methods of grayscaling
wherein modulation of the exposure time increases the number of grayscale
levels on an object. In addition, the present invention comprises methods
of grayscaling wherein modulating the power of an exposure beam provides
additional grayscale levels.
Nelle applicazioni di litografia, è desiderabile controllare, per esempio, una posizione o una larghezza di una linea stampata. Un metodo efficace di controllo questi modelli e della loro risoluzione è avendo il maggior numero di livelli di gradazione di grigio possibile. La presente invenzione contiene i metodi grayscaling in cui la modulazione del tempo di esposizione aumenta il numero di livelli di gradazione di grigio su un oggetto. In più, la presente invenzione contiene i metodi grayscaling in cui modulare l'alimentazione di un fascio di esposizione fornisce i livelli supplementari di gradazione di grigio.
