A projection exposure apparatus for imaging and printing a pattern, formed
on a first object, upon a second object through a projection optical
system. The projection exposure apparatus includes a storing device for
storing information related to light intensity distribution on a pupil
plane of the projection optical system in a reference state, and a
detecting device for detecting a wavefront of the projection optical
system in an arbitrary state, on the basis of the stored information.
Прибор выдержки проекции для воображения и печатать картину, сформированный на первом предмете, на втором предмете через систему проекции оптически. Прибор выдержки проекции вклюает приспособление для хранить информация отнесенная к распределению интенсивности света на плоскости зрачка системы проекции оптически в положение справки, и обнаруживая приспособление для обнаруживать wavefront системы проекции оптически в произвольном положении, on the basis of, котор хранят информация.
