An excimer laser apparatus in which deterioration of the laser gas in the
laser container can be suppressed, and damage to the magnetic bearings
caused by the laser gas can be suppressed, and which can be reduced in
size and operated efficiently, and has low power consumption. Each
electromagnet (stator) (7-1) of a magnetic bearing (7) for supporting a
rotary shaft (4) of a circulation fan 3 includes excitation coils. Each of
the coils is arranged as one unit by embedding a coil body in a ceramic or
glass type hardened material which is non-magnetic and has corrosion
resistance against a laser gas. The excitation coils are attached to
magnetic poles. Alternatively, coil wires (108b) of a radial magnetic
bearing (108) can be isolated from a corrosive atmosphere by means of a
separation wall (124) while projecting portions of cores (108b) extend
through the separation wall (124) and are exposed toward a magnetic
bearing rotor (108f).
Un appareillage de laser d'excimer en lequel la détérioration du gaz de laser dans le récipient de laser peut être supprimée, et des dommages aux roulements magnétiques provoqués par le gaz de laser peut être supprimé, et qui peut être réduit dans la taille et fonctionné efficacement, et a la basse puissance d'énergie. Chaque électro-aimant (redresseur) (7-1) d'un roulement magnétique (7) pour soutenir un axe rotatoire (4) d'un ventilateur 3 de circulation inclut des enroulements d'excitation. Chacun des enroulements est arrangé comme une unité en incluant un corps d'enroulement dans un type en céramique ou de verre a durci le matériel qui est non magnétique et a la résistance à la corrosion contre un gaz de laser. Les enroulements d'excitation sont attachés aux pôles magnétiques. Alternativement, les fils d'enroulement (108b) d'un roulement magnétique radial (108) peuvent être isolés dans une atmosphère corrosive à l'aide d'un mur de séparation (124) tout en projetant les parties de noyaux (108b) avancent à travers le mur de séparation (124) et sont exposées vers un rotor magnétique de roulement (108f).
