A method and apparatus for the wireless transfer of measurements made
during chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers with a
planarizing machine. The apparatus includes a sensor connected to the
semiconductor substrate or a movable portion of the planarizing machine.
The apparatus further comprises a display spaced apart from the sensor and
a wireless communication link coupled between the sensor and the display
to transmit a signal from the sensor to the display. The wireless
communication link may include an infrared link, a radio link, an acoustic
link, or an inductive link. The sensor may measure force, pressure,
temperature, pH, electrical resistance or other planarizing parameters.
The sensor may also detect light reflected from a reflective surface of a
substrate that is used to calibrate the planarizing machine.
Μια μέθοδος και μια συσκευή για την ασύρματη μεταφορά των μετρήσεων έκαναν κατά τη διάρκεια του χημικός-μηχανικού planarization των γκοφρετών ημιαγωγών με μια planarizing μηχανή. Η συσκευή περιλαμβάνει έναν αισθητήρα που συνδέεται με το υπόστρωμα ημιαγωγών ή μια κινητή μερίδα της planarizing μηχανής. Η συσκευή περιλαμβάνει περαιτέρω μια επίδειξη που χωρίζονται κατά διαστήματα εκτός από τον αισθητήρα και μια ασύρματη σύνδεση επικοινωνίας που συνδέεται μεταξύ του αισθητήρα και την επίδειξη για να διαβιβάσει ένα σήμα από τον αισθητήρα στην επίδειξη. Η ασύρματη σύνδεση επικοινωνίας μπορεί να περιλάβει μια υπέρυθρη σύνδεση, μια ραδιο σύνδεση, μια ακουστική σύνδεση, ή μια επαγωγική σύνδεση. Ο αισθητήρας μπορεί να μετρήσει τη δύναμη, την πίεση, τη θερμοκρασία, το pH, την ηλεκτρική αντίσταση ή άλλες planarizing παραμέτρους. Ο αισθητήρας μπορεί επίσης να ανιχνεύσει το φως που απεικονίζεται από μια αντανακλαστική επιφάνεια ενός υποστρώματος που χρησιμοποιείται για να βαθμολογήσει τη planarizing μηχανή.
