According to one aspect of the present invention, pinhole defects in resist
coatings are repaired by heating the resist briefly to induce the resist
to flow and fill pinholes. The resist is brought to a temperature at or
above that at which the resist flows for long enough to permit the resist
to flow and fill pinhole defects, but not so long as to corrupt the resist
pattern. The original resist pattern may be biased to allow for some flow
during the pinhole repair process. The entire patterned resist may be
heated at once, or it may be heated one portion at a time. The application
of heat may optionally be limited to locations where pinhole defects are
found. By means of the invention, very thin patterned resist coatings free
from pinhole defects may be obtained.
Secondo una funzione di presente invenzione, i difetti di foro di spillo dentro resistono ai rivestimenti sono riparati riscaldando la resistenza brevemente per indurre la resistenza per fluire e riempire i fori di spillo. La resistenza è portata ad una temperatura a o sopra quella a cui la resistenza fluisce per abbastanza a lungo il permesso la resistenza i difetti di foro di spillo del materiale di riempimento e di flusso, ma non a condizione che corrompere il modello di resistenza. L'originale resiste al modello può essere influenzato per tenere conto un certo flusso durante il processo di riparazione di foro di spillo. L'interi modellati resistono a possono essere riscaldati immediatamente, o può essere riscaldato una parte alla volta. L'applicazione di calore può facoltativamente essere limitata alle posizioni dove i difetti di foro di spillo sono trovati. Per mezzo dell'invenzione, molto sottili modellati resistono ai rivestimenti esenti dai difetti di foro di spillo possono essere ottenuti.
