A method and integrated system for electron beam testing a substrate is
provided. In one aspect, the integrated system includes a transfer chamber
having a substrate table disposed therein. The substrate table is capable
of moving a substrate within the testing chamber in both horizontal and
vertical directions. The substrate table includes a first stage moveable
in a first dimension, a second stage moveable in a second dimension, and a
third stage moveable in a third dimension. Each stage moves independently
in its respective dimension. The system also includes a load lock chamber
disposed adjacent a first side of the testing chamber, and a prober
storage assembly disposed beneath the testing chamber. A prober stack
assembly is disposed adjacent a second side of the testing chamber and
arranged to transfer one or more probers between the prober storage
assembly and the testing chamber. Further, one or more electron beam
testing devices are disposed on an upper surface of the testing chamber.
Een methode en een geïntegreerd systeem die voor elektronenstraal een substraat testen worden verstrekt. In één aspect, omvat het geïntegreerde systeem een overdrachtkamer die een daarin geschikte substraatlijst heeft. De substraatlijst kan een substraat binnen de testende kamer in zowel horizontale als verticale richtingen bewegen. De substraatlijst omvat een eerste stadiumroerend goed in een eerste afmeting, een tweede stadiumroerend goed in een tweede afmeting, en een derde stadiumroerend goed in een derde afmeting. Elk stadium beweegt zich onafhankelijk in zijn respectieve afmeting. Het systeem omvat ook een kamer van het ladingsslot die adjacent een eerste kant van de testende kamer wordt geschikt, en een assemblage van de peileropslag die onder de testende kamer wordt geschikt. Een assemblage van de peilerstapel wordt geschikt adjacent een tweede kant van de testende kamer en geschikt om één of meerdere peilers tussen de assemblage van de peileropslag en de testende kamer over te brengen. Verder, worden één of meerdere elektronenstraal het testen apparaten geschikt op een hogere oppervlakte van de testende kamer.
