Method and apparatus for laser processing

   
   

A method and an apparatus are for rapidly processing dielectric substrates using laser beams. A pulsed laser beam having a pulse repetition frequency greater than approximately 50 kHz and having pulse lengths shorter than approximately 200 ns is used for this purpose. Given a suitable choice of the parameters which characterize the processing laser beam, it is possible to ensure both a high throughput of bored holes and a high hole quality. With the use of a Q-switched CO.sub.2 laser, a wavelength of approximately 9.2 .mu.m and a pulse energy of approximately 0.7 mJ are used. As a result, by way of example, 500 holes per second can be bored into an LCP substrate having a thickness of 0.4 mm. The high throughput and the simultaneously high hole quality are a consequence of the wavelength chosen, the short pulse lengths, the high repetition rate and the pulse energy that is likewise high compared with conventional laser processing apparatuses in the area of electronic fabrication.

Eine Methode und ein Apparat sind für dielektrische Substrate mit Laserstrahlen schnell verarbeiten. Ein pulsierter Laserstrahl, der eine Impulsfolgefrequenz grösser als ungefähr 50 kHz hat und Impulslängen kürzer als ungefähr 200 ns hat, wird zu diesem Zweck benutzt. Eine verwendbare Wahl der Parameter gegeben, die den verarbeitenlaserstrahl kennzeichnen, ist es möglich, einen hohen Durchsatz der gebohrten Bohrungen und eine hohe Bohrung Qualität sicherzustellen. Mit dem Gebrauch eines Q-geschalteten Lasers CO.sub.2, wird eine Wellenlänge von mu.m ungefähr 9.2 und eine Impulsenergie von ungefähr 0.7 mJ verwendet. Infolgedessen über Beispiel, können 500 Bohrungen pro Sekunde in ein LCP Substrat gebohrt werden, das eine Stärke von 0.4 Millimeter hat. Der hohe Durchsatz und die gleichzeitig hohe Bohrung Qualität sind eine Konsequenz der gewählten Wellenlänge, die kurzen Impulslängen, die hohe Wiederholung Rate und die Impulsenergie, die ebenfalls verglichen mit herkömmlichem Laser hohes ist, der Apparate im Bereich der elektronischen Herstellung verarbeitet.

 
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