An apparatus provided for evaluating electrical characteristics by bringing
a plurality of metal probes in contact with a sample. A metal probe is
formed on a free end of a cantilever on which are formed a resistor, two
electrodes for resistance detection, and an electrode for measuring
electrical characteristics. A tip of the metal probe projects beyond the
free end of the cantilever. The probe position is controlled by an atomic
force microscopy.
Um instrumento forneceu avaliando características elétricas trazendo um plurality de pontas de prova do metal no contato com uma amostra. Uma ponta de prova do metal é dada forma em um fim livre de um cantilever quais sejam dados forma um resistor, em dois elétrodos para a deteção da resistência, e em um elétrodo para medir características elétricas. Uma ponta da ponta de prova do metal projeta-se além do fim livre do cantilever. A posição da ponta de prova é controlada por um microscopy atômico da força.
