An electron beam test system which can determine whether a potential is
high or low for a DC signal or a signal having no potential change before
the time of observation. The electron beam test system obtains potential
contrast data for analysis by irradiating electron beam to a semiconductor
integrated circuit device which is an analysis object. This system has a
tester which supplies a test pattern signal for analysis to the
semiconductor integrated circuit device and holds the supplied test
pattern signal at a given time; an electron gun which irradiates electron
beam to the semiconductor integrated circuit device in response to the
hold; and a detector which detects the potential contrast data of the
semiconductor integrated circuit device which is irradiated with electron
beam.
Система испытания электронного луча может обусловить ли потенциал высок или низок для сигнала dc или сигнала не имея никакое потенциальное изменение перед временем замечания. Система испытания электронного луча получает потенциальные данные по контраста для анализа путем облучать электронный луч к приспособлением интегрированной цепи полупроводника будет предмет анализа. Эта система имеет тестер поставляет сигнал телевизионнаяа испытательная таблица для анализа к приспособлению интегрированной цепи полупроводника и держит поставленный сигнал телевизионнаяа испытательная таблица в данное время; пушка электрона электронный луч irradiates к приспособлению интегрированной цепи полупроводника in response to владение; и детектор обнаруживает потенциальные данные по контраста приспособления интегрированной цепи полупроводника облучено с электронным лучем.
