In a probe card assembly, a series of probe elements can be arrayed on a
silicon space transformer. The silicon space transformer can be fabricated
with an array of primary contacts in a very tight pitch, comparable to the
pitch of a semiconductor device. One preferred primary contact is a
resilient spring contact. Conductive elements in the space transformer are
routed to second contacts at a more relaxed pitch. In one preferred
embodiment, the second contacts are suitable for directly attaching a
ribbon cable, which in turn can be connected to provide selective
connection to each primary contact. The silicon space transformer is
mounted in a fixture that provides for resilient connection to a wafer or
device to be tested. This fixture can be adjusted to planarize the primary
contacts with the plane of a support probe card board.
En un montaje de la tarjeta de la punta de prueba, una serie de elementos de la punta de prueba se puede poner en orden en un transformador del espacio del silicio. El transformador del espacio del silicio se puede fabricar con un arsenal de contactos primarios en una echada muy apretada, comparable a la echada de un dispositivo de semiconductor. Uno prefirió el contacto primario es un contacto resistente del resorte. Los elementos conductores en el transformador del espacio se encaminan a los segundos contactos en una echada relajada. En uno prefirió la encarnación, los segundos contactos son conveniente para directamente unir un cable de cinta, que alternadamente se puede conectar para proporcionar la conexión selectiva a cada contacto primario. El transformador del espacio del silicio se monta en un accesorio que prevea la conexión resistente a una oblea o a un dispositivo que se probarán. Este accesorio se puede ajustar planarize los contactos primarios con el plano de un tablero de la tarjeta de la punta de prueba de la ayuda.
