A method for forming, on a mask, a mask pattern used for exposure. The mask
pattern includes a first pattern that blends plural types of patterns, and
second pattern that is smaller in size than the first pattern. The mask
pattern is arranged on the mask so that the first pattern may be resolved
and the second pattern is restrained from being resolved. The method
includes the steps of classifying the first pattern into one of a periodic
pattern having at least three elements having two equal intervals in at
least one direction among two orthogonal directions, an isolated pair
pattern that does not belong to the periodic pattern and includes a pair
of elements arranged in at least one direction among the two orthogonal
directions, and an isolated element that does not belong to the isolated
pair pattern and includes only one element without constituting any pair
in any of the two orthogonal directions, arranging the second pattern for
the isolated pair pattern, arranging the second pattern for the isolated
element, and arranging the second pattern for the periodic pattern.
Um método para dar forma, em uma máscara, a um teste padrão de máscara usado para a exposição. O teste padrão de máscara inclui um primeiro teste padrão que misture tipos plurais de testes padrões, e o segundo teste padrão que é menor no tamanho do que o primeiro teste padrão. O teste padrão de máscara é arranjado na máscara de modo que o primeiro teste padrão possa ser resolvido e o segundo teste padrão seja contido de ser resolvido. O método inclui as etapas de classificar o primeiro teste padrão em um de um teste padrão periódico que tem ao menos três elementos ter dois intervalos iguais ao menos em um sentido entre dois sentidos orthogonal, um teste padrão isolado do par que não pertença ao teste padrão periódico e não inclua um par dos elementos arranjados ao menos em um sentido entre os dois sentidos orthogonal, e um elemento isolado que não pertença ao teste padrão isolado do par e não inclua somente um elemento sem constituir qualquer par em alguns dos dois sentidos orthogonal, arranjando o segundo teste padrão para o teste padrão isolado do par, arranjando o segundo teste padrão para o elemento isolado, e arranjar o segundo teste padrão para o teste padrão periódico.
