A pattern evaluation method includes: scanning an object to be measured on
which a pattern has been formed with an energy beam and obtaining an image
data of the object by detecting a scattered particle which is produced
from the object; recognizing at least one edge of the pattern on the basis
of the image data and calculating the coordinate positions of each edge
point of a sequence of edge points constituting the shape of the edge of
the pattern; deriving a straight line so that the sum of lengths of
perpendiculars drawn from the edge points to the straight line is minimum;
and statistically processing the lengths of perpendiculars when the
straight line is derived and outputting evaluation information for
quantitatively expressing roughness of the edge of the pattern.
Un metodo di valutazione del modello include: esplorando un oggetto da misurare su cui un modello è stato formato con un fascio di energia ed ottenere i dati di immagine dell'oggetto rilevando una particella sparsa che è prodotta dall'oggetto; riconoscendo almeno un bordo del modello in base ai dati ed a calcolare di immagine le posizioni coordinate di ogni punto del bordo di una sequenza dei punti del bordo che costituiscono la figura del bordo del modello; derivare una linea retta in modo che la somma delle lunghezze delle perpendicolari disegnate dal bordo indichi alla linea retta è minimo; e statisticamente procedendo le lunghezze delle perpendicolari quando la linea retta è derivata e producente le informazioni di valutazione per quantitativamente esprimere la rugosità del bordo del modello.
