The present invention relates generally to a rule based system and method
for automatically generating photomask orders in a specified format, and
more particularly, relates to software which includes templates in which
photomask order data is entered and rules for guiding the user in entering
such data and rules for ensuring that such data is entered accurately. The
rules and templates implemented in the present invention are organized and
stored in a manner which allows for the software to be easily adapted to
meet the criteria of any existing standard (e.g., SEMI P10) or proprietary
photomask order format now known or hereinafter developed. Additionally,
the software of the present invention provides for the ability to generate
new photomask orders using templates and/or existing photomask order data.
Η παρούσα εφεύρεση αφορά γενικά ένα βασισμένες στον κανόνα σύστημα και μια μέθοδο για αυτόματα photomask τις διαταγές με ένα διευκρινισμένο σχήμα, και ειδικότερα, αφορά το λογισμικό που περιλαμβάνει τα πρότυπα στα οποία photomask το στοιχείο διαταγής εισάγεται και κανόνες για το χρήστη στην είσοδο τέτοιων στοιχείων και κανόνες για ότι τέτοιο στοιχείο εισάγεται ακριβώς. Οι κανόνες και τα πρότυπα που εφαρμόζονται στην παρούσα εφεύρεση οργανώνονται και αποθηκεύονται με έναν τρόπο που επιτρέπει το λογισμικό που προσαρμόζεται εύκολα για να ικανοποιήσει τα κριτήρια οποιασδήποτε ύπαρξης τυποποιημένης (π.χ., ΗΜΙ P10) ή του ιδιόκτητου σχήματος διαταγής photomask γνωστού τώρα ή που αναπτύσσεται εφεξής. Επιπλέον, το λογισμικό της παρούσας εφεύρεσης επιτρέπει τη δυνατότητα να παραχθούν οι νέες διαταγές photomask χρησιμοποιώντας τα πρότυπα ή/και υπάρχων photomask τα στοιχεία διαταγής.
