A high resolution and high data rate spot grid array printer system is
provided, wherein an image representative of patterns to be recorded on a
reticle or on a layer of a semiconductor die is formed by scanning a
substrate with electron beams. Embodiments include a printer comprising an
optical radiation source for irradiating a photon-electron converter with
a plurality of substantially parallel optical beams, the optical beams
being individually modulated to correspond to an image to be recorded on
the substrate. The photon-electron converter produces an intermediate
image composed of an array of electron beams corresponding to the
modulated optical beams. A de-magnifier is interposed between the
photon-electron converter and the substrate, for reducing the size of the
intermediate image. A movable stage introduces a relative movement between
the substrate and the photon-electron converter, such that the substrate
is scanned by the electron beams.
Обеспечена high resolution и высокая система принтера блока решетки пятна тарифа данных, при котором представитель изображения картин, котор нужно записать на перекрещении или на слое плашки полупроводника сформирован путем просматривать субстрат с электронными лучами. Воплощения вклюают принтер состоя из оптически источника радиации для облучать конвертер фотон-3lektrona с множественностью существенн параллельных оптически лучей, оптически лучей индивидуально будучи модулированными для того чтобы соответствовать к изображению, котор нужно записать на субстрате. Конвертер фотон-3lektrona производит промежуточное изображение составленное блока электронных лучей соответствуя к модулируемым оптически лучам. Де-uvelicitel6 interposed между конвертером фотон-3lektrona и субстратом, для уменьшения размера промежуточного изображения. Подвижной этап вводит относительное движение между субстратом и конвертером фотон-3lektrona, таким что субстрат просмотрен электронными лучами.
