Automatic generation of processing conditions will be provided, based on a
database and process modeling by a computer equipped in semiconductor
device fabrication equipment, by using input of wafer processing history
including the thickness and quality. The computer equipped in
semiconductor device fabrication equipment obtains the wafer processing
and inspection results from a production line management computer in order
to assist input of the process history. The computer in the fabrication
equipment can be connected to computers in a fabrication equipment
manufacturer on a communication network to automatically provide process
conditions and maintenance schedule.
La generación automática de las condiciones de proceso será proporcionada, basado en una base de datos y un proceso que modelan por una computadora equipada en el equipo de la fabricación del dispositivo de semiconductor, usando la entrada de la historia de proceso de la oblea incluyendo el grueso y la calidad. La computadora equipada en el equipo de la fabricación del dispositivo de semiconductor obtiene resultados del proceso y de la inspección de la oblea de una cadena de producción computadora de la gerencia para asistir a la entrada de la historia de proceso. La computadora en el equipo de la fabricación se puede conectar con las computadoras en un fabricante de equipo de la fabricación en una red de comunicaciones para proporcionar automáticamente condiciones de proceso y horario de mantenimiento.
